High-NA EUV: Е-тесты подтверждают прогресс в развитии металлических проводящих структур

16:20, февраля 26, 2025 Исследовательский институт imec сообщил об успешных результатах Е-тестов в литографии High-NA EUV. Испытания затронули металлизированные проводящие структуры с шагом всего 20 нм. Этот этап продвигает разработку производственного процесса и запуск сканеров High-NA EUV в совместной лаборатории imec и ASML. Летом прошлого года ASML объявила , что впервые экспонировала линейные структуры с шагом 10 нм. Такие простые элементы открывают путь к стохастическому анализу дефектов. Сегодня imec показал результаты для змеевидных и вилкообразных металлических структур, созданных с помощью металлооксидного негативного резиста (MOR). Выход годных тестовых структур с шагом 20 нм превысил 90%.{nozuna nzimagefromgallery}070c7509-f2c5-11ef-a756-000c2932240f 0{/nozuna nzimagefromgallery} {nozuna nzimagefromgallery}070c7509-f2c5-11ef-a756-000c2932240f 1{/nozuna nzimagefromgallery} Создание таких структур осложняют их крошечные размеры. Ключевое значение имеет высокая числовая апертура в процессе экспонирования — отсюда название технологии High-NA EUV. Малая глубина резкости сужает фокальную плоскость, что требует более точного выравнивания пластин. Маски ......

Источник: www.hardwareluxx.ru

Поделиться новостью в Facebook Поделиться новостью в Twittere Поделиться новостью в VK Поделиться новостью в Pinterest Поделиться новостью в Reddit

Наука и Технологии

Представлена серия металлических часов Casio G-Shock GMW-BZ5000 Casio представила новую полностью металлическую серию часов G-Shock GMW-BZ5000 в трех цветовых вариантах с премиальной отделкой. …

Наука и Технологии 08:20, ноября 15, 2025 | ilenta.com

Ученые продлили срок службы литий-металлических аккумуляторов на 750% Литий-металл, анодный материал следующего поколения, был отмечен за преодоление ограничений производительности коммерческих батарей. Однако проблемы, …

Hardware 08:20, декабря 17, 2024 | android-robot.com

Программа школьников и ученых Пермского Политеха предотвратит аномалии в 3D-печати металлических изделий 3D-печать – перспективная технология, позволяющая с высокой точностью создавать легкие и прочные детали сложной... …

Наука и Технологии 00:20, апреля 14, 2025 | zoom.cnews.ru

«Киберпротект» и «Даком М» подтверждают взаимную совместимость продуктов «Киберпротект» и «Даком М» подтверждают взаимную совместимость системы резервного копирования «Кибер Бэкап... …

Игры и Интернет 00:20, сентября 8, 2024 | cnews.ru

Клиенты Oracle подтверждают, что их данные действительно украдены Хотя компания Oracle отрицает факт взлома федеративных SSO-логин-серверов Oracle Cloud и кражи данных 6 млн клиентов, СМИ сообщают, что в нескольких …

Наука и Технологии 16:20, марта 27, 2025 | xakep.ru

Макеты iPhone 17 подтверждают стеклянное окошко в Pro-моделях В сети появились новые фотографии макетов iPhone 17, демонстрирующие обновлённый дизайн будущих моделей Apple 2025 года. Вся линейка оснащена магнита …

Наука и Технологии 00:20, марта 24, 2025 | ichip.ru

Ядра Zen 5 в Strix Point: первые бенчмарки подтверждают обещания AMD в отношении IPC Как мобильные APU Strix Point , так и первые настольные CPU серии Ryzen 9000 будут представлены в июле. Все новые процессоры будут оснащены ядрами с …

Наука и Технологии 00:20, июня 25, 2024 | hardwareluxx.ru

Дурова освободили из-под стражи, чтобы доставить его в суд, подтверждают французские телеканалы Теперь с ним проведут допрос, а после, если так решат, предъявят обвинений. То есть перед судом он всё равно предстанет. …

Главные новости 16:20, сентября 1, 2024 | news-kmv.ru